产品信息
详细介绍
随着半导体技术的电子技术工艺的发展，电子产品都往小型化，轻薄化发展。iWatch的一经推出，穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化，器件体积越做越小，空间就紧凑起来，这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸，现在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米级别，这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。
卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生，这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度还原产品的3D结构，对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度，微米级别的精度和超强的稳定性，一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃，半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测，就是这款产品的主要应用领域。
卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发，3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果（利号：CN207556477U）。该项技术，具有以下优点：
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技术 |
线性共焦光谱技术 |
点测技术 |
激光扫描 |
3D相机 |
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速度 |
1000 line/s |
1000 point/s |
1000 line/s |
多角度拍照快 |
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扫描宽度 |
6.5mm/20mm |
点 |
可选 |
大 |
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分辨率 |
1um |
1um |
30um |
100um |
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界面层数 |
多层 |
多层 |
表面 |
表面 |
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建模 |
否 |
否 |
否 |
是 |
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数据量 |
大 |
大 |
少 |
少 |
三维表面形貌测量仪主要特点有：
1、非接触性测量；
2、线扫描，高效率；
3、微米级精度；
4、满足透明面及高对比度表面测试；
5、支持二次开发；
三维表面形貌测量仪主要应用
1、精密部件3D尺寸及段差测试；
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；
3、3D玻璃缺陷检测；
4、半导体表面缺陷测试；
5、多层薄膜厚度测试；
3D形貌测试仪产品型号及规格
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HawkEye-1300 |
HawkEye-5000 |
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方式 |
共焦光谱 |
共焦光谱 |
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精度 |
1um |
8um |
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重复性 |
±0.3um |
±4um |
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线扫宽度 |
6.5mm |
20mm |
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Z轴量程范围 |
1.3mm |
5mm |
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扫描速度 |
300line/s(Max:1000line/s) |
300line/s(max:1000line/s) |
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重量 |
5Kg |
8Kg |
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尺寸 |
460x300x140mm |
460x300x140mm |
