真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
质谱仪中真空泵也起着积极有效的作用，而真空泵在使用一段时间后，其垫圈很容易损坏，故而需要及时进行更换，不仅如此，真空泵也可能会受到化学品的污染，故而需要对其做相应的保养和维修。
使用过质谱仪的人员都知道可以在泵运转的时候检查油位，但在检查过程中需要断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。其检查步骤大致有：
1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在正常范围内，若油位过低，应打开加油孔，加油至合理值，若油位过高即可放掉一些；
2.如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
而当真空泵的油受到污染时，其举措大致如下：
1取下加油孔的塞子，倒进干净的油；
2重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟；
3断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来；
4重复上述步骤直到将泵清洗干净。
更换前置真空泵油的步骤如下：
1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)；
2.断开泵和电路及真空系统的连接；
3.取下加油孔的塞子；
4.将泵放在一个适当的支撑物(如：凳子)上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中；
5.塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接；
6.装上新油，直到油位达到MAX位置附近；
7.等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。
