雾是指光学零件的抛光面上，呈现出“露水”似的物质，有些物质是由油质点子构成的；有些是由水珠或水与玻璃起化学反应形成堆积物构成的；有些是由水与油混合形成的。不管何种原因形成的，雾形成的原因主要有几下几种：
1、 光学零件表面不清洁，擦得不干净，留下了很多的灰尘与油迹，这些灰尘与油迹在吸收了空气中的水分后就会形成雾。
2、光学玻璃化学稳定性差。光学玻璃主要是硅酸盐玻璃，在遇到水后就会发生不同程度的水解，水解后的碱溶液会吸收空气中的酸性气体二氧化碳形成碳酸盐，由于空气干燥，水蒸发后留下的碳酸盐小晶体堆积在玻璃表面，就形成了雾。
3 、仪器金属零件上的油脂也会因为发挥扩散到光学零件上形成油性雾。
4、仪器处在的温度环境不同也会形成雾，如高温、低温以及温度变化大条件下，光学仪器就易形成雾。
具体措施
1、 减少仪器内部的水蒸气，防止水蒸气在玻璃表面上凝结
减少仪器内部的水蒸气，防止水蒸气在玻璃表面上凝结，要从以下几个方面入手。首先，需要在干燥的条件下进行装配或对装配好的仪器进行干燥处理，如充干燥氮气或空气以及放置干燥剂。其次，在光学测量仪器使用中尽量要控制好环境，尽量在温度变化小以及湿度较小的地方使用光学测量仪器。最后，选择好存放仪器的库房。仪器存放的库房要通风、向阳、干燥，而且要在仪器箱内放入干燥剂，并注意密封和及时更换烘干硅胶干燥剂。
2、使用化学药剂防雾
使用化学药剂防雾除雾是一种很好的除雾防雾方法，可以起到比较好的效果，防雾药剂主要是一些有机硅油，如甲基硅油、3204 等，把这些化学药剂配成溶液涂在光学零件表面上，从而使零件表面形成一层憎水层，可起到良好的防雾效果
