聚束科技（北京）有限公司  

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高通量扫描电镜系统（High Throughput SEM），Navigator100系列是高通量电镜技术在材料表面分析、神经生物学领域的一项全新的应用。

产品优势

与传统SEM不同的是，Navigator100针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统，重点优化低落点能量下BSE的成像速率，同时保证SE的接收效率为95%以上，使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右，搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块，综合成像速率是传 统SEM的30倍以上。

以半导体晶圆分析为例，以4nm像素大小扫描300umX300um区域内的晶圆刻线，传统电镜需要至少38分钟完成相同工作，而高通 量仅需0.9分钟即可完成自动图像采集，并生成Google Map式全景样品地图。

业界首创的索引式查看功能，使用户无需再繁琐地操作电镜，而可以专注于搜寻样品本身的信息。

应用领域：

大面积表面材料分析、半导体晶圆分析、神经生物学3D重构、生物组织切片分析等。

成像速度＞10倍传统电镜
大数据智能分析
智能全倒地图生成
全自动样品载入与导航
智能图像处理